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半导体设备的安装结构的制作方法

时间:2024-08-20   访问量:1668
半导体设备的安装结构的制作方法

本实用新型涉及半导体设备的安装结构,属于半导体设备技术领域。


背景技术:

半导体设备在现实生活中被广泛的使用,椭偏仪、四探针、热波系统、相干探测显微镜、光学显微镜、扫描电子显微镜等等都算是半导体设备,很多设备在使用时,需要保持设备的稳定性,使用中,设备不能晃动,且在现有的技术中心,对于椭偏仪的半导体设备限位性较差,不能将设备进行安装固定,不具有很有很好的实用性。


技术实现要素:

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供半导体设备的安装结构。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:

本实用新型半导体设备的安装结构,包括固定底座,所述固定底座顶部四角均固定有一号限位管,每个所述一号限位管远离固定底座一端的内部均开凿有螺纹槽,所述固定底座位于四角的一号限位管之间的四角均开凿有限位槽,所述固定底座位于四角限位槽的上方设有椭偏仪底座,所述椭偏仪底座靠近固定底座一端的四角均固定有椭偏仪支撑脚,所述椭偏仪底座远离固定底座的一端固定有椭偏仪,所述椭偏仪底座的上下两端均设有限位板,两个所述限位板两端均插设有二号限位管,每个所述二号限位管内部均插设有螺纹杆,每个所述螺纹杆远离固定底座的一端分别与调整把手的底部固定。

作为一种优选的技术方案,上下两端的两个所述一号限位管之间的距离分别等于两个限位板顶部两端的二号限位管之间的距离,两侧上下两端的两个所述一号限位管之间的距离小于椭偏仪底座上下两端之间的距离,且两个所述限位板顶部两个二号限位管之间的距离大于椭偏仪底座两端之间的距离,每个所述螺纹槽顶端至底端之间的距离小于椭偏仪底座顶部至底部之间的距离。

作为一种优选的技术方案,所述椭偏仪底座底部四角的椭偏仪支撑脚与固定底座顶部四角的限位槽位置相匹配,且所述椭偏仪底座四角的椭偏仪支撑脚分别与限位槽穿插连接,所述椭偏仪底座顶部至底部之间的距离大于限位板底部至螺纹杆底部之间的距离。

作为一种优选的技术方案,每个所述一号限位管分别通过螺纹槽与螺纹杆螺纹连接。

作为一种优选的技术方案,每个所述二号限位管内部均开凿有连接槽,且每个连接槽的内径尺寸与螺纹杆的外径尺寸相匹配。

本实用新型所达到的有益效果是:本实用新型通过限位板、二号限位管、螺纹杆、调整把手、一号限位管、螺纹槽的搭配使用,使椭偏仪底座可以进行固定,通过设有的限位槽,增加了椭偏仪底座的限位性,安装过程简单,固定后稳定性较强,具有很好的实用性以及推广性。


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